36氪首发丨「华易泰」获近亿元B轮融资，主攻半导体及显示面板核心工艺国产替代

文丨肖千平

编辑丨袁斯来

36氪获悉，半导体及面板设备厂商「华易泰」日前完成近亿元B轮融资，由航源基金、华睿投资、中小担创投、锡创投及敦本基金共同投资，投中资本担任本轮独家财务顾问。本轮融资资金将用于产品研发及市场开拓。

半导体与显示面板在工艺制程上具有共通性，且共同面临生产设备国外垄断局面，存在国产替代需求。华易泰成立于2020年初，主攻半导体与显示面板湿法制程设备及系统解决方案，现已布局清洗、蚀刻、剥离等核心前道湿法设备，高纯工艺系统及自动物料搬运系统AMHS（Automatic Material Handling System）。

其中，湿法制程设备涉及清洗、显影等多个工艺环节，贯穿半导体晶圆及显示面板生产流程，且尤其注重稳定性，考验设备厂商的经验积累及综合理解。

具体来看，显示面板玻璃基板具有尺寸大、厚度薄等特性，存在脆弱易碎、杂质黏附等问题。对此，华易泰通过定制开发设备材料、调整工艺等方式，解决玻璃基板在设备模块间运作平稳度问题；并依靠水流调控、设备运作节奏控制等，平衡对玻璃的保护与清洁。针对半导体晶圆，华易泰则通过设备结构设计、配置清洁配件等，提高表面清洁能力。目前，华易泰已完成清洗、蚀刻、显影等设备开发，清洗设备生产并出货。

物料搬运方面，不同于单一生产环节、部件物料的运输，华易泰布局全生产环节，对标国际厂商速度，能够达到210米/分钟。全环节布局意味着华易泰需要实现对多轨道、多岔路场景下多辆运输小车的精准控制，并解决该搬运速度下刹车平稳性等问题。对此，华易泰基于客户需求，自主设计全环节AMHS系统，已成功试验工厂环境下多车于数条多岔道环形轨道调度运行。

高纯工艺系统用于半导体晶圆及玻璃基板等生产过程中关键介质输配，连接各类湿法设备。这一系统关系着多种化学品的混合及供应，且化学品最终直接与终端产品接触，直接影响产线运行效率及成品良率，需要严格保障化学品纯净度。华易泰通过设计调用多种配件、差异化设计开发等控制纯净度，现已推出CDS高纯化学品供应系统和SDS研磨液供应系统，不纯物控制能力突破量子级。

半导体及显示面板等泛半导体领域内，湿法制程设备、高纯工艺系统及物料搬运系统间彼此关联，客户群体集中，在生产过程中形成较完整体系。华易泰以高纯工艺系统切入市场，已在头部企业验证落地，逐步导入湿法设备等，自动物料搬运系统也已完成前沿技术储备及设备研发，正与多家面板厂推进整厂自动化解决方案合作。自2020年成立以来，华易泰累计签约订单已超8亿元人民币。

团队方面，华易泰创始人阎勇毕业于北京航空航天大学，面板行业从业经验超30年，公司核心创始团队出身天马微电子、华星光电、KCTech等企业，泛半导体领域内从业经验丰富，拥有技术、产品、市场等经验及产业资源积累。

投资方观点

航源基金团队认为：华易泰所处泛半导体专用设备行业是中国重点鼓励发展的产业，也是战略价值最高的环节之一，AMHS、核心湿法设备、高纯工艺支持系统均存在国产化缺口。公司核心团队拥有丰富的高纯工艺系统、湿法设备及AMHS研发经验，产品已导入国内头部重点客户，未来随着公司产品线的不断完善，业绩可期。

华睿投资团队认为：半导体/面板湿法清洗设备和高纯工艺系统的国产化进程逐步提速，下游客户对国产化设备的需求不断提升。凭借团队较强的商业化能力和对深层工艺的know-how理解，公司的产品已经顺利进入全球一线客户的供应链体系，目前在手订单充足，形成了较高的客户黏性。未来，公司将持续投入研发，形成更多元化的产品矩阵，有望成为半导体/泛半导体湿法设备、高纯工艺系统领域的一匹黑马。

中小担创投团队认为：我国半导体、显示行业核心制程设备国产化机会巨大，华易泰团队拥有深厚的产业资源和领先的技术能力，凭借快速的产品研发和市场推展能力加速泛半导体领域工艺系统及核心设备国产化，未来有望成为中国的泛半导体领域的平台型领军企业。

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