• 2023-05-17 10:30:55 　来源：前瞻产业研究院　E813G0

• 2023-2028年中国掩膜版（光刻掩膜版）行业发展前景预测与投资战略规划分析报告

行业主要上市公司：清溢光电(688138);路维光电(688401);中芯国际(688981);华宏半导体(01347)等

本文核心数据：中国掩膜版产业发展历程;中国掩膜版参与者类型;中国掩膜版产业市场规模

产品规格布局概述

目前我国掩膜版产品布局种类较为全面，平板掩膜版覆盖6代及以上、8.5代及以下、10代及以上三个品种;半导体掩膜版覆盖130nm以上、28-90nm、22nm以下三个品种。我国掩膜版行业领先企业路维光电掌握G11量产能力，先进性较强，但行业整体实力中等。目前全球130nm及以下制程半导体掩膜版出货量占比约为46%，但国内第三方掩膜版厂商仅掌握25nm及以上制程半导体掩膜版工艺。

注：最高为五星，最低为一星。

产线建设逐步完善

目前我国并未有权威机构对掩膜版产线布局进行统计。以我国掩膜版行业领先企业路维光电为例，截至2021年12月31日，路维光电拥有10条产线，其中深圳厂区有2条产线，对应2台光刻机，其它后段生产设备如检查设备、测量设备、清洗设备等则采用搭配共用的方式;成都路维有2条产线，对应2台光刻机，路维科技有6条产线，对应6台光刻机，其它后段生产设备如涂布设备、清洗设备、检查及贴膜系统、测量设备、自动搬运系统等则采用搭配共用的方式。以光刻机列示产线分布及设备应用情况如下：

产量保持扩大态势

从产量来看，2016-2021年，清溢光电产量逐年递增，由2016年的3988.17平方米上升到2021年的5145.83平方米。路维光电2019-2021年的产量增速较快，CAGR达到12.28%。整体来看，我国掩膜版行业的产能率虽不高，但正在逐年递增，相关产量规模也在逐年扩大。

注：1)统计范围为石英掩膜版和苏打掩膜版;2)路维光电未披露2016-2018年数据。

销量波动上升

从销量来看，我国掩膜版上市企业的销量逐年递增，清溢光电的销量规模从2016年的3991.49平方米达到2021年的5189.55平方米。路维光电的销量从2019年的2840.04平方米到2021年的3743.35平方米。

注：1)统计范围为石英掩膜版和苏打掩膜版;2)路维光电未披露2016-2018年数据。

产销率接近100%

我国掩膜版行业主要上市企业的产销率近年来保持在100%左右，2021年清溢光电产销率为100.8%，路维光电产销率为98.8%。整体行业供需较为平衡。

注：1)统计范围为石英掩膜版和苏打掩膜版;2)路维光电未披露2016-2018年数据。

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