又是它，一个文件害惨中国半导体

瓦森纳协定是国际上最大的出口管制组织之一。该协定成立的初衷是为了防止武器扩散、反对恐怖主义，现如今已经彻底沦为美国限制中国的“私人工具”。

近日，一份20世纪制定的文件频繁现身。本月13日消息，美国商务部产业和安全局（BIS）举行电话会议。在会议中，美国商务部出口执法助理副部长Kendler表示，针对中国半导体出口管制的ECCN技术参数将和“瓦森纳协定”达成协同，根据出口管理条例（EAR）第746.8条，BIS打算将相关条款写进该协定中。Kendler指出，这一管制规定对俄罗斯也同样有效。就在一个月前，美国已将28nm以下的12英寸硅片纳入瓦森纳协定中，借以压制中国半导体产业。

什么是瓦森纳协定？为什么它可以限制中国半导产业的发展？未来中国还会被限制更多产业吗？

什么是瓦森纳协定？

先来简单了解一下瓦森纳协定。

瓦森纳协定，又名瓦瑟纳尔协定，全名为《关于常规武器与两用产品和技术出口控制的瓦瑟纳尔协定》（The Wassenaar Arrangement on Export Controls for Conventional Arms and Dual-Use Good and Technologies），是一项于1996年5月12日签订，专门管制传统武器及军商两用货品的多边出口控制机制的协定，目前含42个成员国家。协定安排参加国通过国家政策来确保这些物项的转让不会有助于发展受转让国的军事能力。

瓦森纳协定  来源：互联网

1949年二战结束后，为了防止社会主义阵营发展高端武器，美国联合英法德意土澳等欧洲、大洋洲17个国家，在巴黎成立“输出管制统筹委员会” ，简称“巴统”，即瓦森纳协定的前身。1952年巴统中国委员会成立，中国被列入禁运名单。1996年美国牵头在“巴统”17国的基础上缔结了《瓦森纳协定》，进一步限制中国科技产业发展。

文件共包括两份清单，一份是军民两用商品和技术清单，另一份是军品清单，涵盖了各类武器弹药、设备及作战平台管制清单。

我们主要关注第一份清单。它将9类物品纳入管控。即先进材料、材料处理设备、电子器件、计算机、电信与信息安全、传感与激光、导航与航空电子仪器、船舶与海事设备、推进系统。其中第三类电子器件中，就囊括了光刻机、刻蚀机等关键设备。

值得注意的是《瓦森纳协定》最初没有正式列举被管制的国家，只在口头上将伊朗、伊拉克、朝鲜和利比亚4国列入管制对象，各国也只是参照共同管制原则和清单自行决定管制措施和方式，即“各国自行处理”原则。目前中国俨然已成为该协定的主要针对国，《瓦森纳协定》正逐步沦为美国制约中国半导体产业发展的“私人工具”。

瓦森纳协定缔约国  来源：维基百科

瓦森纳协定如何限制中国半导体产业

前文提到，瓦森纳协定两用清单的第三类包含中国需要的各类半导体设备与元器件。2004年，捷克政府曾批准捷克ERA公司向我国出售10部总价值为5570万美元的“维拉”雷达系统，但在美国的压力下，取消了这一合同。2006年，我国与意大利阿莱尼亚空间公司曾签署了发射意卫星的合作协议，但由于美国的干预，意方不惜经济和信誉损失而最终取消了合作协议。

EUV光刻机作为芯片产业的核心与最先进的半导体设备，自然受到美国的“格外关注”。

2018年4 月，中芯国际向 ASML 订购了一台 EUV 光刻机，交易金额高达1.2亿美元，预计2019年交货。此前中芯国际已经与ASML深度合作多年，除EUV光刻机外的大部分产品都已经进口。ASML公开回应了中芯国际采购EUV光刻机这件事，称他们对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁，且向中国出售 EUV 光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。荷兰政府也在同年发放EUV的出口许可证。

EUV光刻机  来源：互联网

然而交易还未开始就受到美国阻拦。据知情人士消息，美国在中芯国际下订单后的几个月内，派出官员与荷兰政府召开四次会议，讨论能否取消这笔交易。同年12月，ASML 元件供应商 Prodrive 的一家工厂又发生重大火灾，导致2019 年年初的产品延后发出。2019年初，美国国防部官员召见荷兰驻美大使商讨交易的“安全风险”，同年6月美国国务卿蓬佩奥访问荷兰并再次施压。6月30日，荷兰政府向ASML颁发的出口许可证到期。至此，中芯国际与ASML的EUV光刻机交易就被搁置，后续只有DUV光刻机可以完成采购流程。

事实上，美国对于中国光刻机的限制应用当时的瓦森纳协定理由并不充分，禁售理由是因为EUV光刻机中含有美国专利而做出限制。不过该协定每年都会修订规则，目前美国已将ECCN技术参数和瓦森纳协定达成协同，瓦森纳协定彻底变成美国“一言堂”只是时间问题了。从另一个角度来说， EUV光刻机的元器件基本都来自瓦森纳协定的缔约国境内，美国可以从任意一个环节插手来阻止交易完成，中芯国际要想绕过所有缔约国进口EUV光刻机困难重重。

除光刻机外，硅片也是中国被限制的重要产品之一。

2019年年底，《瓦森纳协定》完成一次重大修订：“对300mm直径硅晶圆的切割、研磨、抛光达到局部平整度的技术要求，在任意26mm*8mm的面积内平整度差小于等于20nm，以及边缘去除方面小于等于2mm。”2022年9月又被爆出28nm以下12英寸大硅片纳入协定限制。目前，《瓦森纳协定》限制中国半导体产业的规则越来越多，限制规模也越来越大。从光刻机到硅片，从航空芯片到精密机床，无不囊括其中。

未来美国还会利用瓦森纳协定限制什么

近日，最近美国华盛顿办事处高级法律顾问接受国内媒体采访时称：由于俄罗斯也是瓦森纳协定成员国之一，未来可能在某些措施实施时加以阻止或推迟，所以美国试图寻求新方法与欧盟、北约达成合作来调整出口管制措施。

这也意味着，美国已经不满足瓦森纳协定对于中国的制约力，企图完全抛弃过去多国联合指定条约时的“自行处理”原则，让瓦森纳协定彻底沦为美国的“私人武器”。

此前荷兰光刻设备研究专家Jos Versteeg在接受媒体访谈时也谈到，即便是美国商务部没有明言ASML是否需要对华禁运，“瓦森纳协定”本身也可以钳制ASML对华正常经贸往来。

目前美国BIS正着手限制中国的EDA产业，将受限产业链继续向上游延伸。据了解BIS此次行动的执行文件就是2021年12更新的瓦森纳协定。不过瓦森纳协定总有容量“上限”的一天，它加入的限制产业越多，中国也会相应的将更多产业纳入国产替代的快车道。近年来在刻蚀机与硅片领域，国产替代项目已经吹响反攻的号角。随着国产替代产品逐渐增多，瓦森纳协定对中国的影响也将减弱。