• 2022-10-15 14:00:59 　来源：前瞻产业研究院　E1522G0

• 2022-2027年中国半导体设备行业市场需求前景与投资规划分析报告

行业主要上市公司：北方华创(002371);中微公司(688012);拓荆科技(688072);盛美上海(688082);至纯科技(603690);芯源微(688037);华峰测控(688200);长川科技(300604);华海清科(688120);恒润股份(603985);京运通(601908);深科达(688328);闻泰科技(600745)等。

本文核心数据：半导体设备行业市场规模;半导体设备国产化率;半导体设备细分领域占比;半导体设备代表企业业绩情况

行业概况

1、定义

半导体设备，即在芯片制造和封测流程中应用到的设备，广义上也包括生产半导体原材料所需的机器设备，属于半导体行业产业链的关键支撑环节。半导体设备行业是半导体制造的基石，是半导体行业的基础和核心。

在整个芯片制造和封测过程中，会经过上千道加工工序。半导体设备按应用环节划分为前道工艺设备(晶圆制造)和后道工艺设备(封装测试)两大类。细分又可以划出百种不同的机台，占比较大市场份额的主要有：光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机、测试机、分选机、探针台等。

2、产业链剖析

从产业链来看，半导体设备的上游主要是硅片制造以及集成电路(IC)设计，下游则主要为IC封装和测试。根据半导体设备在IC制造中应用的场景不同，一般可以分为氧化炉、薄膜沉积设备、光刻设备、涂胶显影设备、刻蚀设备、离子注入设备、清洗设备等。

半导体设备行业由于细分领域有较高的技术壁垒，各自的代表性企业有所差异。半导体薄膜沉积设备龙头有北方华创和沈阳拓荆。半导体光刻设备市场上，上海微电子装备有限公司在国内竞争力较强，其次优质龙头北京科华有十数年以上的技术积累。半导体刻蚀设备厂商市场中，中微公司和北方华创表现亮眼。半导体清洗设备厂商中，盛美上海位居单片清洗设备国产第一，芯源微公司在前道产线清洗设备中标量较多，具有一定代表性。半导体测试设备厂商中，华峰测控和长川科技品牌优势凸显。

半导体设备行业发展历程：中国半导体设备行业进入国产替代加速阶段

虽然中国在半导体设计与制造已经发展了数十年之久，然而在设备发展方面起步极慢，20世纪70年代开始虽有尝试自行发展相关设备，但仅限于低端技术的平台。

2000年以后是技术引进阶段。这个阶段我国鼓励引进外资，同时引进国外设备以提高半导体相关产品生产来，同时积极学习国外先进半导体生产制造技术。中国在发展自有芯片设计上终于有了较为明显的突破，不少中国设备厂已经摆脱追赶者的角色，成为了全球半导体设备的领先者之一，如北方华创、至纯科技、精测电子、长川科技、中微半导体、上海微电子、盛美半导体等。

2009-2018年，中国半导体及设备行业技术不断创新，同时面临市场规模波动性较大的压力。此阶段是我国半导体设备厂商快速发展阶段，厂商积极研发，不断进行技术创新。

2019年全球半导体及设备市场处于增速换挡调整期，2020年以后5G、物联网、人工智能等领域的技术浪潮有望催生产业的新一轮成长。中国大陆作为全球最大半导体消费市场，目前国产替代进入加速阶段。

行业政策背景：政策注重鼓励企业提高自主技术能力

半导体设备行业作为战略性新兴产业，国家不断出台相关政策对行业的发展进行支持。政策扶持对于半导体设备行业发展推进的意义重大，我国半导体设备行业竞争力不断突破，国产化进程稳步推进。

行业发展现状

1、中国半导体设备在全球市场中发展潜力较大

根据SEMI数据显示，近年来中国大陆半导体设备市场规模占全球市场规模的比重一直在增长，2019年中国大陆在全球市场占比实现22.5%，较2018年增长了2.3个百分点;2020年中国占全球半导体设备销售额的比重达26.27%。2021年中国大陆半导体设备市场占全球达28.9%。2022年一季度中国市场份额已超过30%，从侧面来看，中国半导体设备在全球发展潜力较大。

2、中国半导体设备行业市场规模加速增长

根据SEMI数据显示，2016-2021年中国大陆半导体设备市场规模呈现逐年增长态势。2019年行业实现市场规模增速较2018年有所回落。2020年中国首次成为全球最大的半导体设备市场，市场规模达到187.2亿美元。根据中国电子专用设备工业协会数据显示，2021年中国半导体设备市场达到296.2亿美元，呈加速增长态势，2022年一季度达75.7亿美元。

3、中国半导体设备行业国产化率有待提高

当前半导体设备国产化率仍处于非线性提升区间，国产替代驱动的份额提升，将为行业贡献可观的成长速度和空间。对于国产半导体设备厂商而言，其驱动力除了行业规模的自然扩张，还包括在国内市场的国产替代。根据中国电子专用设备工业协会的数据，2021年，国产半导体设备销售额为385.5亿元，同比增长58.71%，占中国大陆半导体设备销售额的比例为20.02%，整体国产率还处于较低的水平，具备较大国产替代空间。

4、中国半导体设备中薄膜沉积、光刻、刻蚀设备占比超六成

中国半导体设备中半导体制造设备规模占比较大，其中薄膜沉积、光刻、刻蚀市场份额相当，并且占据60%以上市场份额，其中薄膜沉积占比21.9%;光刻占比21.3%;刻蚀占比20.4%。其次是过程控制占比11.2%，自动化制造和控制占比4.8%，清洗设备占比4.7%，涂胶显影占比3.8%，其他晶圆级设备占比3.8%。

5、中国半导体设备招标采购中越来越倾向国产品牌

根据采招网数据显示，相比2020年，2021年中国半导体设备的招标采购中越来越倾向国产品牌。分设备种类来看，2021年去胶、后道封装、清洗、涂胶显影、量测设备国产比例有显著提高，除这几类以外，干法刻蚀已经实现较高比例的国产替代，但CMP(化学机械抛光设备)和湿法刻蚀国产化率有所降低。

行业竞争格局

1、区域竞争：广东、江苏产业集群效应较明显

从区域竞争来看，广东省早年积累的半导体加工和制造资源深厚，加上粤港澳大湾区融合发展趋势加快，外商投资吸引力较强，先进技术上具备较好的资金优势，因此半导体设备企业数量最多。其次是江苏省，位于长三角，工业园区规划较好，近年来集成电路产业发展势头良好，因此半导体设备产业集群效应突出。其他地区陆续设立了良好的投资环境和政策环境，不断吸引半导体设备企业进驻，但总体来看广东和江苏两地半导体设备行业区域竞争力较强。

2、企业竞争：2022上半年北方华创公司综合竞争力凸显

从国内市场看，我国半导体设备行业不同领域企业竞争格局有所差异。从2022上半年业绩表现看，北方华创无论是营收还是毛利率均是领导者的角色，半导体设备收入41亿元，毛利率46.38%;整体来看半导体设备行业毛利率水平较高，大部分企业处于挑战者的地位，其中华峰测控毛利率高达78%，长川科技55.81%，两者均是半导体测试设备行业佼佼者，从侧面来看该细分领域表现突出。市场上像闻泰科技这样处于消费半导体设备赛道的竞争者盈利能力有待提高，但整体收入表现突出。

行业发展前景及趋势预测

1、半导体设备行业往自动化、高端化、集成化发展

我国半导体消费需求增长以及国产化进程有力推动了我国半导体产业快速发展，近年来我国半导体产业链不断完善，国内半导体设备制造业技术水平的不断提高，半导体设备国产替代空间巨大。同时随着芯片尺寸的高精化、集成化发展，设备也将向高精度化与高集成化方向发展。高、中、低各类技术等级的生产设备均有其对应市场空间，未来我国半导体设备行业的国际竞争力将会不断提升。

2、未来半导体设备行业市场潜力巨大

结合全球半导体设备发展趋势以及我国半导体设备国产替代以及下游需求旺盛的多重作用，未来几年我国半导体设备行业仍将保持高速增长，保守预计2022-2027年，我国半导体设备行业市场规模将保持在15%左右的复合增长率稳步提升，到2027年，中国半导体设备市场规模将达到685亿美元。

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